?真空泵是一種利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。接下來，了解一下真空泵的幾種測(cè)量方式：

1、熱偶真空計(jì)

利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測(cè)量真空度的真空計(jì)。
2、電離真空計(jì)

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

3、復(fù)合真空計(jì)

由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成，測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa。

4、冷陰極電離計(jì)

陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

5、電阻真空計(jì)

利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測(cè)量真空度的真空計(jì)。

6、麥克勞真空計(jì)

也成為壓縮式真空計(jì)，將待測(cè)的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。

7、電容薄膜真空計(jì)

這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測(cè)量下限，可測(cè)超高真空。

電容薄膜真空計(jì)將三種不同的規(guī)管綜合在個(gè)小型經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測(cè)量過程壓強(qiáng)和基本壓強(qiáng)從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計(jì)由于具有測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、測(cè)量結(jié)果與氣體成分無關(guān)以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點(diǎn)，因而越來越受到人們的重視。

以它取代水銀壓力計(jì)、油壓計(jì)、電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)以至部分地取代電離計(jì)。